(2be203真空泵說明書)
例如英國EDWARDS公司的E2M40旋片泵，低真空級端面間隙為006mm，而高真空級端面間隙為0095mm又如日本ULVAC真空技術株式會社的D650K旋片泵低真空級端面間隙為005mm，高真空級端面間隙為008mm這樣的間隙安排也符合熱膨脹的要求，照一般規律旋片泵在33～4×104Pa時功率最高，...
例如英國EDWARDS公司的E2M40旋片泵，低真空級端面間隙為006mm，而高真空級端面間隙為0095mm又如日本ULVAC真空技術株式會社的D650K旋片泵低真空級端面間隙為005mm，高真空級端面間隙為008mm這樣的間隙安排也符合熱膨脹的要求，照一般規律旋片泵在33～4×104Pa時功率最高，...