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(2be203真空泵說明書)

例如英國EDWARDS 公司的E2M40旋片泵, 低真空級端面間隙為006 mm,而高真空級端面間隙為0095mm又如日本ULVAC真空技術(shù)株式會社 的D650K旋片泵低真空級端面間隙為005mm,高真空級端面間隙為008mm這樣的間隙安排也符合熱膨脹的要求, 照一般規(guī)律旋片泵在33~4 ×104Pa 時(shí)功率最高, 以。

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