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1按工作原理分類氣體輸送泵包括變容真空泵如往復式旋片式和動量傳輸泵如分子泵噴射泵擴散泵離子輸運泵氣體捕集泵包括吸附泵吸氣劑泵吸氣劑離子泵低溫泵等2按真空度分類粗真空泵高真空泵和超高真空泵，其中高真空泵包括滑閥式旋片式羅茨真空泵；真空度一般分為粗真空中真空高真空超高真空一般如果能做到真空度在01mbar，大...