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往復式真空泵簡稱往復泵又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵與水。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬結構簡單緊湊抽氣腔元件無摩擦。屬于這類泵的有往復式真空泵旋轉式機械泵包括旋片式螺桿式羅茨式液環式等這類泵中除機械...