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(半導體真空泵維修方法)

半導體工藝真空主要用在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕,真空吸附,測試設備,真空清掃等等鍵合工序,半導體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有害的物質(zhì)氣體,會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅,因此,半導體真空泵應用時需要注意的幾個安全事項1定期清洗真空泵及其他附件過濾管道,避免超壓半導體真空;1容積變化泵如旋片泵和渦...