(半導體真空泵維修方法)
半導體工藝真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序，半導體生產制造過程中容易產生易燃易爆以及有害的物質氣體，會對生產及人員安全造成威脅，因此，半導體真空泵應用時需要注意的幾個安全事項1定期清洗真空泵及其他附件過濾管道，避免超壓半導體真空；1容積變化泵如旋片泵和渦...
半導體工藝真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序，半導體生產制造過程中容易產生易燃易爆以及有害的物質氣體，會對生產及人員安全造成威脅，因此，半導體真空泵應用時需要注意的幾個安全事項1定期清洗真空泵及其他附件過濾管道，避免超壓半導體真空；1容積變化泵如旋片泵和渦...