(真空泵冷卻系統)

1、真空泵的主要作用是將容器內的氣體抽出，從而產生低于大氣壓的真空環境這種真空環境可以用于各種實驗生產和制造過程中，例如半導體制造真空冷卻真空干燥真空蒸餾真空包裝等真空泵在半導體制造中起著至關重要的作用。

2、需要真空泵在運行的過程中，會有一部分能量以熱能的形式散發，但是它必須通過一些介質散發出去，散熱的過程就被稱為冷卻的過程，真空泵需要冷卻來散發熱量當然，如果產生的熱量不能及時散發的話，就會影響泵零部件的性能。

3、有羅茨真空泵的旋轉方向，機封冷卻水進口在機封腔體的下方，出水口在上部，從泵的進水段到泵的出水段，氣體流動方向自上而下是垂直的，從而使液體或固體粒子夾帶在入口流中向下流動，所以是有方向的。

4、防止排氣溫度過高，冷卻潤滑油在高溫狀態下時間長了會使油的使用壽命降低，溫度過高還會使機頭各部件使用壽命降低，有了冷卻裝置還可以降低氣體中的水分。

5、板式換熱器的主要作用是通過冷卻水冷卻工作液，使工作液溫度保持在合理的范圍之內設備組成液環真空泵壓縮機閉路循環系統主要部件包括 液環真空泵壓縮機 氣液分離器 換熱器 共用底盤 內部管線。

6、真空泵降溫一般用循環水冷卻效果要好，降溫速度快真空泵里邊需要水一般是用純凈水，這樣就會用到沸克板式冷卻器，與冷卻水起到隔離的作用，冷卻器的一側循環真空泵里的純凈水，另一側循環冷凍機或者是冷卻塔里邊的水，通過。