如果還不能滿足要求,可在羅茨泵上方再串聯油擴散泵,極限真空度可達00001Pa,但其價格較高,建議選用羅茨旋片真空機組,目前國內做的最小的羅茨旋片機組為ZJ15羅茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵。
總之,往復式真空泵具有抽氣速度快抽真空范圍廣結構簡單耐用性好和價格相對較低等優點,是一種常用的機械真空泵如國產的WLW系列立式泵與老式W型臥式泵相比,有如下優點動部位磨損減輕1功率消耗平均減少13,節能顯著例如,原W5功率為22KW,而WLW200B為15KW原W4為11KW,而WLW100。
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