1、如果還不能滿足要求,可在羅茨泵上方再串聯油擴散泵,極限真空度可達00001Pa,但其價格較高,建議選用羅茨旋片真空機組,目前國內做的最小的羅茨旋片機組為ZJ15羅茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵。
2、1 抽氣速度快往復式真空泵的抽氣速度較快,可以快速將氣體抽出,適用于需要快速達到高真空度的場合2 抽真空范圍廣往復式真空泵可以在較高的壓力范圍內工作,可以抽取大部分氣體分子3 結構簡單往復式真空泵的結構相對簡單,易于維護和保養4 耐用性好往復式真空泵的部件相對堅固,使。
1、如果還不能滿足要求,可在羅茨泵上方再串聯油擴散泵,極限真空度可達00001Pa,但其價格較高,建議選用羅茨旋片真空機組,目前國內做的最小的羅茨旋片機組為ZJ15羅茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵。
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